Microscópio Eletrônico de Transmissão - Thermo Fisher Metrios AX TEM |

Microscópio Eletrônico de Transmissão - Thermo Fisher Metrios AX TEM

SKU: MET - Thermo Fisher Metrios AX TEM

Microscópio eletrônico de transmissão de alta produtividade para metrologia de semicondutores e caracterização de processos.

Descrição

Microscópio eletrônico de transmissão de alta produtividade para metrologia de semicondutores e caracterização de processos.

Os processos avançados de fabricação de lógica e memória estão se tornando cada vez mais dependentes da rápida entrega de dados estruturais e analíticos precisos para poder calibrar rapidamente conjuntos de ferramentas, diagnosticar excursões de rendimento e otimizar rendimentos de processo. Em nós tecnológicos abaixo de 28nm, especialmente em casos em que projetos de dispositivos 3D e avançados estão sendo implementados, ferramentas de análise e inspeção baseadas em MEV ou óptica convencionais enfrentam desafios que limitam sua capacidade de fornecer dados robustos e confiáveis. O microscópio eletrônico de transmissão Metrios AX da Thermo Scientific é o primeiro MET dedicado a fornecer a caracterização rápida e precisa e a metrologia de referência que os fabricantes de semicondutores precisam para desenvolver e controlar seus processos de fabricação de wafer, a fim de acelerar o rendimento lucrativo.

Dados de MET de alto volume, precisos e repetíveis

O Metrios AX TEM automatiza as operações básicas e os procedimentos de medição do MET, minimizando os requisitos de treinamento especializado do operador. Suas rotinas de metrologia automatizadas avançadas oferecem significativamente maior precisão do que os métodos manuais. O Metrios AX TEM foi projetado para fornecer maior throughput e custo por amostra mais baixo do que outros METs.

Recursos principais

Consistente, repetitivo, preciso

Projetado desde o início para fornecer imagens baseadas em TEM e STEM repetíveis, análises e metrologia capaz de medição.

Precisão de metrologia

Menos de 0,75% de erro combinado na calibração de distorção e ampliação para ambos TEM e STEM.

EDS automatizado e metrologia híbrida

Adquira e quantifique dados EDS com automação. Use contraste elementar em dimensões críticas chave para estender o STEM.

Conectividade de fluxo de trabalho

Os dados críticos do processo são rastreados por meio da preparação de amostras, coleta e imagem. A metrologia pode ser aplicada offline para maximizar o tempo de aquisição da ferramenta. Todos os dados de imagem e metrologia são consolidados em um visualizador de imagem baseado na web.

Especificações

Faixa de Alta Tensão (kV)	60-200 kV
Limite de informação 200 kV (nm)	0,11
	não corrigido	Sonda corrigida*
HASTE HAADF Resolução (nm) 200 kV	≤0,164	≤0,083
HASTE HAADF Resolução (nm) 80 kV	≤0,31	≤0,11
Precisão de metrologia no wafer MetroCal para aplicações horizontais e verticais	≤0,3 nm 3σ
Fonte de elétrons	X-CFEG ou XFEG
Eletrônica ultra estável e alta tensão	Incluído
Gabinete acústico	Incluído
Lentes de potência constante	Incluído
Estágio piezo	Incluído
Corretor de sonda compatível	Sim

*Para uso manual. As especificações estão sujeitas a alterações.