Microscópio Eletrônico de Varredura - FIB-SEM and Laser Ablation

SKU: FIB-SEM and Laser Ablation

Os sistemas a laser Thermo Scientific Helios 5 PFIB combinam a fresagem de íons focalizados de plasma com a ablação a laser de femtossegundos e a imagem de SEM (microscopia eletrônica de varredura). Essa combinação "TriBeam" permite imagens e an

Descrição

Fresagem de íons focalizados e ablação a laser de femtossegundos

Os sistemas a laser Thermo Scientific Helios 5 PFIB combinam a fresagem de íons focalizados de plasma com a ablação a laser de femtossegundos e a imagem de SEM (microscopia eletrônica de varredura). Essa combinação "TriBeam" permite imagens e análises de alta resolução com capacidade de ablação in situ, oferecendo taxas de remoção de material sem precedentes para caracterização rápida em escala de milímetros com resolução nanométrica.


O laser de femtossegundos pode cortar muitos materiais em taxas que são ordens de magnitude mais rápidas do que um FIB típico. Uma grande seção transversal (centenas de micrômetros) pode ser criada em menos de cinco minutos. Como o laser tem um mecanismo de remoção diferente (ablação em vez da erosão iônica do FIB), ele pode processar facilmente materiais desafiadores, como amostras não condutivas ou sensíveis a feixes de íons.


A duração extremamente curta dos pulsos de laser de femtossegundos introduz quase nenhum artefato, como impacto térmico, microfissuras, fusão ou aqueles típicos do polimento mecânico tradicional. Na maioria dos casos, as superfícies fresadas a laser são suficientemente limpas para imagens SEM diretas e até mesmo para técnicas sensíveis à superfície, como mapeamento de difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD).


Oferecemos um amplo portfólio de produtos e recursos avançados de automação para aplicações como preparação de amostras de microscopia eletrônica de transmissão (TEM), preparação de amostras de tomografia de sonda de átomos (APT) e análise estrutural em 3D.


Preparação de amostras de microscopia eletrônica de transmissão e tomografia de sonda de átomos

Construídos na plataforma comprovada Helios 5 DualBeam, esses instrumentos incorporam um conjunto de tecnologias de ponta para fornecer preparação de amostras de microscopia eletrônica de transmissão (TEM) e tomografia de sonda de átomos (APT) de alta performance e alta resolução e imagem de SEM extremamente alta resolução com contraste de materiais preciso.


Análise estrutural em 3D

Quando combinados com o software Thermo Scientific Auto Slice & View, os instrumentos TriBeam fornecem insights em 3D sobre a estrutura da amostra, removendo seletivamente (fresagem) o material para caracterização subsuperficial. A reconstrução digital gera conjuntos de dados 3D multimodais que podem consistir em uma variedade de sinais, incluindo imagem de elétrons retroespalhados (BSE) para o máximo contraste de materiais, espectroscopia de energia dispersiva (EDS) para informações de composição e difração de retroespalhamento de elétrons (EBSD) para informações microestruturais e cristalográficas. A capacidade SEM dos sistemas TriBeam oferece detalhes em nanoscala em


Specifications of Helios 5 Focused Ion Beam Milling and Laser Ablation Systems


Laser specifications

  • Laser integration
  • Fully integrated in the chamber with the same coincident point of all 3 beams (SEM/FIB/laser), enabling accurate and repeatable cut placement and 3D characterization.
  • First Harmonic
  • Wavelength
  • Pulse duration
  • 1030 nm (IR)
  • <280 fs
  • Second Harmonic
  • Wavelength
  • Pulse duration
  • 515 nm (green)
  • <300 fs

  • Optics
  • Coincident point
  • Objective lens
  • Polarization
  • WD = 4 mm (same as SEM/FIB)
  • Variable (motorized)
  • Horizontal/vertical
  • Repetition rate
  • • 1 kHz – 1 MHz

  • Beam position accuracy
  • • <250 nm


Protective shutter

• Automated SEM/PFIB protective shutter


Software

• Laser control software

• Laser 3D serial sectioning workflow

• Laser 3D serial sectioning workflow with EBSD

• Laser Scripting*


Safety

• Interlocked laser enclosure (Class 1 laser safety)


* With optional Thermo Scientific AutoScript 4 Software.0