Analisador de Massa e Energia PSM
SKU: PSM
info@tennessine.com.br
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Um analisador de massa e energia para diagnóstico de plasma
As sondas de plasma da Hiden medem alguns dos principais parâmetros do plasma e fornecem informações detalhadas sobre a química de reações no plasma.
Visão Geral
Uma ampla gama de processos industriais utiliza plasmas elétricos, e novas aplicações estão se desenvolvendo rapidamente. Na indústria de microeletrônicos, as exigências de maiores rendimentos e geometrias de dispositivos mais compactas significam que a reprodutibilidade e o entendimento do processo são vitais.
A compreensão detalhada da cinética de reação de íons de plasma e espécies neutras desempenha um papel fundamental no desenvolvimento de processos avançados de engenharia de superfícies, como o HIPIMS.
Recursos
- Manifold diferencialmente bombeado com flange de montagem para câmara de processo
- Quadrupolo de filtro triplo de alta sensibilidade/estabilidade, opções de faixa de massa até 510 amu
- Detector de contagem de íons por pulso com faixa dinâmica de 7 décadas
- Opção de análise de energia por varredura de polaridade até 100 eV
- Óptica de extração/exclusão de íons com ionizador integral ajustável para MS de Potencial de Aparência
- Medidor de Penning e intertravamentos para proteção contra sobrepressão
- Opção de gate de sinal e gate de sinal programável para estudos temporais em plasma pulsado
- Análise de neutros e radicais como padrão, opção de análise de íons +ve / -ve
- Opções de blindagem Mu-Metal, Radio-Metal, opções de operação em alta pressão
- Controle MASsoft via RS232, RS485 ou Ethernet LAN