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Espectrômetro de Massa de Íons Secundários - IMP-EPD

SKU: IMP-EPD

A IMP-EPD é um espectrômetro de massa de íons secundários diferencialmente bombeado e robusto para análise de íons secundários do processo de gravação por feixe iônico. O sistema inclui software integrado com algoritmos específicos do processo desenvolvidos para controle ótimo do processo.

Descrição

Um sistema para controle de gravação por íons e qualidade ótima do processo
A IMP-EPD é um espectrômetro de massa de íons secundários diferencialmente bombeado e robusto para análise de íons secundários do processo de gravação por feixe iônico. O sistema inclui software integrado com algoritmos específicos do processo desenvolvidos para controle ótimo do processo.


Visão Geral

O IMP-EPD é um espectrômetro de massa de íons secundários diferencialmente bombeado e robustecido para análise de íons secundários provenientes do processo de gravação por feixe iônico. O sistema inclui software integrado com algoritmos específicos do processo desenvolvidos para controle ótimo do processo.


O sistema IMP-EPD é comprovado para a produção de dispositivos de filmes finos de alta especificação para aplicações que incluem filmes magnéticos, supercondutores de alta temperatura e semicondutores III-V.


Recursos

- Alta sensibilidade SIMS/MS com detector de contagem de íons por pulso

- Quadrupolo de triplo filtro, faixa de massa de 300 amu é padrão

- Coletor diferencialmente bombeado com flange de montagem para câmara de processo

- Óptica de íons com analisador de energia e ionizador integral

- Medidor de Penning e intertravamentos para proteção contra sobrepressão

- Sistema de dados integrado à ferramenta de processo

- Estabilidade (variação de altura inferior a ±0,5% em 24 h)

- Controle MASsoft via RS232, RS485 ou Ethernet LAN

- Comunicação programável DDE, E/S digitais paralelas, comunicação por script RS232



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