Espectrômetro de Massa de Quadrupolo HMT
SKU: HMT
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Um sistema RGA de duplo modo para diagnóstico de vácuo e monitoramento de processos
O espectrômetro de massa de quadrupolo HMT da Hiden é um sistema RGA de duplo modo único capaz de operar em pressões de até 5×10-3 mbar sem a necessidade de bombeamento diferencial.
A operação a essa pressão é alcançada usando uma combinação de fonte de íons/filtro de quadrupolo especialmente projetada e software que corrige a não-linearidade de abundância. A especificação única de alta pressão torna o HMT ideal para aplicações de monitoramento de processos.
O HMT é para análise de processos a vácuo e análise de gás residual, sendo vital para verificações das condições de funcionamento do processo e na análise de processos para detectar contaminantes inesperados. O sistema HMT também pode operar no modo RGA da mesma forma que um RGA de quadrupolo tradicional. Detectores duplos de Faraday/multiplicador de elétrons fornecem sensibilidades de pressão parcial na faixa de 10^-13 mbar. Processos típicos que podem ser monitorados incluem CVD, gravação, PECVD e PVD. Uma ferramenta de RGA de processo para solução de problemas e monitoramento.
