Espectrômetro de Massa - Série EQP
SKU: Série EQP
SKU: Série EQP
Sistemas para Pesquisa de Plasma - Espectrômetros de massa e energia de quadrupolo de alto desempenho para a caracterização de plasmas.
EQP-6: Faixa de massa de 300 ou 510 amu com espectrômetro de massa de quadrupolo de filtro triplo de 6 mm para uma ampla gama de aplicações de pesquisa de plasma.
EQP-9: Sistemas baseados em quadrupolo de filtro triplo de 9 mm, apresentando a mais ampla gama de opções de massa disponíveis. Opções de 50 a 5000 amu para medições de alta estabilidade e análise de aglomerados de íons.
EQP-20: Apresenta o quadrupolo de filtro triplo de 20 mm da Hiden com comutação de zona I/zona H para 20 amu com largura de pico de 0,003 amu e faixa de massa de 200 amu com resolução de massa unitária para caracterização de plasmas de isótopos de hidrogênio.
Visão Geral
As sondas de plasma Hiden medem alguns dos principais parâmetros do plasma e fornecem informações detalhadas relacionadas à química de reação do plasma.
A compreensão detalhada da cinética de reação dos íons de plasma e das espécies neutras desempenha um papel fundamental no desenvolvimento de processos avançados de engenharia de superfícies, como o HIPIMS.
A fonte de íons de bombardeamento eletrônico integrada permite a análise de neutros e, com a adição do modo de anexação de elétrons EAMS (espectrometria de massa de anexação de elétrons), para a separação e identificação de espécies radicais eletronegativas.
Um analisador de energia de campo setorial de 45° de alta transmissão para análise de energia de íons positivos e negativos até 1000 eV está incluído em todos os instrumentos da série EQP.
A Série EQP está disponível com MCS integrado – aquisição de dados de escalar multicanal com resolução temporal de até 50 nanossegundos, proporcionando aquisição rápida de dados em aplicações de plasma pulsado.
Recursos
