Espectrômetro de Massa - Série EQP
SKU: Série EQP
info@tennessine.com.br
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SKU: Série EQP
Sistemas para Pesquisa de Plasma
Espectrômetros de massa e energia de quadrupolo de alto desempenho para a caracterização de plasmas.
EQP-6: Faixa de massa de 300 ou 510 amu com espectrômetro de massa de quadrupolo de filtro triplo de 6 mm para uma ampla gama de aplicações de pesquisa de plasma.
EQP-9: Sistemas baseados em quadrupolo de filtro triplo de 9 mm, apresentando a mais ampla gama de opções de massa disponíveis. Opções de 50 a 5000 amu para medições de alta estabilidade e análise de aglomerados de íons.
EQP-20: Apresenta o quadrupolo de filtro triplo de 20 mm da Hiden com comutação de zona I/zona H para 20 amu com largura de pico de 0,003 amu e faixa de massa de 200 amu com resolução de massa unitária para caracterização de plasmas de isótopos de hidrogênio.
Visão Geral
As sondas de plasma Hiden medem alguns dos principais parâmetros do plasma e fornecem informações detalhadas relacionadas à química de reação do plasma.
A compreensão detalhada da cinética de reação dos íons de plasma e das espécies neutras desempenha um papel fundamental no desenvolvimento de processos avançados de engenharia de superfícies, como o HIPIMS.
A fonte de íons de bombardeamento eletrônico integrada permite a análise de neutros e, com a adição do modo de anexação de elétrons EAMS (espectrometria de massa de anexação de elétrons), para a separação e identificação de espécies radicais eletronegativas.
Um analisador de energia de campo setorial de 45° de alta transmissão para análise de energia de íons positivos e negativos até 1000 eV está incluído em todos os instrumentos da série EQP.
A Série EQP está disponível com MCS integrado – aquisição de dados de escalar multicanal com resolução temporal de até 50 nanossegundos, proporcionando aquisição rápida de dados em aplicações de plasma pulsado.
Recursos
- Óptica de Extração de Íons controlada por software para mínima perturbação do plasma
- Analisador Setorial Eletrostático de 45°, energia de varredura em incrementos de 0,05 eV/ 0,25 eV FWHM
- Mínima perturbação do caminho de voo dos íons e transmissão constante de íons em todas as energias
- Quadrupolo de filtro triplo com bombeamento diferencial, opções de faixa de massa até 5000 amu
- Detector de Contagem de Íons por Pulso de Alta Sensibilidade/Estabilidade com faixa dinâmica de 7 décadas
- Ionizador integral ajustável para espectrometria de massa de potencial de aparência com opção de anexação de elétrons
- Medidor de Penning e intertravamentos para proteção contra sobrepressão
- Opção de sinal de gate e sinal de gate programável para estudos com resolução temporal em plasma pulsado
- Opção de 1000 eV, flutuação até 10 keV, copo de Faraday para plasmas de alta densidade
- Opções de blindagem Mu-Metal e Radio-metal, opção de operação em alta pressão
- Controle MASsoft via RS232, RS485 ou Ethernet LAN
