Microscópio eletrônico de transmissão de alta produtividade para metrologia de semicondutores e caracterização de processos.
Os processos avançados de fabricação de lógica e memória estão se tornando cada vez mais dependentes da rápida entrega de dados estruturais e analíticos precisos para poder calibrar rapidamente conjuntos de ferramentas, diagnosticar excursões de rendimento e otimizar rendimentos de processo. Em nós tecnológicos abaixo de 28nm, especialmente em casos em que projetos de dispositivos 3D e avançados estão sendo implementados, ferramentas de análise e inspeção baseadas em MEV ou óptica convencionais enfrentam desafios que limitam sua capacidade de fornecer dados robustos e confiáveis. O microscópio eletrônico de transmissão Metrios AX da Thermo Scientific é o primeiro MET dedicado a fornecer a caracterização rápida e precisa e a metrologia de referência que os fabricantes de semicondutores precisam para desenvolver e controlar seus processos de fabricação de wafer, a fim de acelerar o rendimento lucrativo.
Dados de MET de alto volume, precisos e repetíveis
O Metrios AX TEM automatiza as operações básicas e os procedimentos de medição do MET, minimizando os requisitos de treinamento especializado do operador. Suas rotinas de metrologia automatizadas avançadas oferecem significativamente maior precisão do que os métodos manuais. O Metrios AX TEM foi projetado para fornecer maior throughput e custo por amostra mais baixo do que outros METs.
Recursos principais
Consistente, repetitivo, preciso
Projetado desde o início para fornecer imagens baseadas em TEM e STEM repetíveis, análises e metrologia capaz de medição.
Precisão de metrologia
Menos de 0,75% de erro combinado na calibração de distorção e ampliação para ambos TEM e STEM.
EDS automatizado e metrologia híbrida
Adquira e quantifique dados EDS com automação. Use contraste elementar em dimensões críticas chave para estender o STEM.
Conectividade de fluxo de trabalho
Os dados críticos do processo são rastreados por meio da preparação de amostras, coleta e imagem. A metrologia pode ser aplicada offline para maximizar o tempo de aquisição da ferramenta. Todos os dados de imagem e metrologia são consolidados em um visualizador de imagem baseado na web.
Faixa de Alta Tensão (kV) | 60-200 kV |
Limite de informação 200 kV (nm) | 0,11 |
| | não corrigido | Sonda corrigida* |
HASTE HAADF Resolução (nm) 200 kV | | |
HASTE HAADF Resolução (nm) 80 kV | | |
Precisão de metrologia no wafer MetroCal para aplicações horizontais e verticais | | |
Fonte de elétrons | | |
Eletrônica ultra estável e alta tensão | | |
Gabinete acústico | | |
Lentes de potência constante | | |
Estágio piezo | | |
Corretor de sonda compatível | | |
*Para uso manual. As especificações estão sujeitas a alterações.
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