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Sistema de análise de superfície XBS

SKU: xbs

Sistema de análise de superfície XBS da Hiden Analytical: Oferece alta sensibilidade, estabilidade a longo prazo, controle avançado de fonte de íons e resistência aprimorada à contaminação, ideal para monitoramento preciso de múltiplas fontes de feixe em aplicações críticas de deposição molecular.

Descrição

Um sistema para monitoramento de múltiplas fontes em aplicações de deposição por MBE (Molecular Beam Epitaxy).


As fontes de feixe molecular exigem controle preciso para o crescimento reprodutível de filmes finos de qualidade. O sistema XBS (Cross Beam Source) da Hiden oferece monitoramento in-situ de múltiplas fontes com saída de sinal em tempo real para controle preciso da deposição. O XBS da Hiden é uma ferramenta excelente utilizada na espectrometria de massa por feixe molecular.


Visão Geral

O sistema Hiden XBS RC é um espectrômetro de massa quadrupolo projetado para monitorar simultaneamente múltiplas fontes de feixe, oferecendo única aceitação de feixe através de um cone de 70°, transversal ao eixo do quadrupolo.

As aberturas de aceitação de feixe são configuradas individualmente para cada posição específica da fonte na câmara de processo, fabricadas como elementos substituíveis para permitir modificação retrospectiva em caso de alteração na câmara.

A alta sensibilidade e a rápida aquisição de dados do sistema XBS fornecem sinais para o controle das taxas de crescimento a partir de 0,01 Ångström por segundo.


Características

  • Alta Sensibilidade, Detecção aprimorada de 100% a 5 ppb, faixa de massa até 510 amu
  • Estabilidade a Longo Prazo Aprimorada (variação de altura inferior a ±0,5% em 24 horas)
  • Fonte de íons Crossbeam, aceitação de feixe através de +/- 35° em relação ao eixo transversal
  • Controle da fonte de íons para ionização suave e espectrometria de potencial de aparência
  • Sensibilidade aprimorada para transmissão de alta massa, Alinhamento automático da escala de massa
  • Abertura de aceitação de feixe de 2 mm – configurada para aplicação específica do usuário
  • Resistência aprimorada à contaminação através do estágio pré-filtro RF-only
  • Protetor refrigerado a água integral compatível com UHV
  • Limites de detecção de até 30 íons/segundo em estudos de feixe molecular
  • Monitoramento de taxas de crescimento de 1Å/minuto e inferiores
  • Controle MASsoft baseado em Windows™ via RS232, USB ou Ethernet LAN


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