Sonda ESPion
SKU: ESPion
info@tennessine.com.br
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SKU: ESPion
Uma sonda avançada de Langmuir para diagnósticos de plasma.
O monitoramento rotineiro das características I-V do plasma pela sonda ESPion fornece informações diretas sobre estabilidade e reprodutibilidade do plasma. A extrapolação automática em tempo real dos parâmetros do plasma oferece detalhes sobre suas propriedades para uso na caracterização e monitoramento de uniformidade.
Visão Geral
O sistema ESPion utiliza os modelos padrão de análise de plasma Orbital Motion Limited (OML) e Allen Boyd Reynolds (ABR). O Z-drive automático da Hiden permite medições com resolução espacial através do volume de plasma. As opções padrão de tradução do Z-drive são: 300, 600 e 900 mm.
Recursos
- Taxa de aquisição de 15 varreduras por segundo com interface D-O-E para análises automáticas, semiautomáticas ou manuais
- Hiden pioneira em compensação passiva de RF
- ESPion possui a maior impedância de bloqueio de qualquer unidade disponível comercialmente
- 4,25 MOhm a 13,56 MHz comparado a 100 kOhm
- Cadeia de indutores múltiplos refrigerada a gás para operação de plasma em alta temperatura
- Cadeia de indutores múltiplos refrigerada a gás é substituível pelo usuário para ajuste a outras frequências
- Sonda de referência compensa efeitos de baixa frequência
- Por exemplo, mudança no potencial do plasma (por exemplo, paredes de câmara anodizadas) ou ruído (por exemplo, fonte de alimentação)
- ESPion possui as especificações de plasma pulsado mais rápidas de qualquer sonda comercial
- ESPionSoft contém todo o circuito de gateamento necessário como padrão
- Opções de acionamento linear automático de 300, 600 ou 915 mm
- Válvula de isolamento intertravada, sondas de 90°, opções combinadas de acionamento linear-rotativo disponíveis
- Ciclo de autolimpeza para limitar a contaminação da ponta da sonda
- Controle ESPionSoft via RS232, RS485 ou Ethernet LAN