Resolução do feixe de elétrons | - 0,6 nm a 30 kV STEM (opcional)
- 0,6 nm a 2-15 kV
- 0,7 nm a 1 kV
- 1,0 nm a 500 V
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Detectores padrão | ETD, TLD, MD, ICD, medição de corrente de feixe, Nav-Cam+, câmera IR |
Detectores opcionais | Detectores opcionais | EDS, EBSD, catodoluminescência RGB, Raman, WDS e muito mais |
Viés de estágio (desaceleração do feixe, opcional) | Até -4000 V, incluído como padrão |
Limpeza de amostras | Limpador de plasma integrado, incluído como padrão |
Manipulação de amostras | Verios 5 UC - Estágio eucêntrico motorizado de 5 eixos, com eixos XYR acionados por piezo.
- Faixa XY 150 x 150 mm 2 , faixa de inclinação de 70°.
- Carregando pela porta.
| Verios 5HP - Câmara montada, ultra-estável de 5 eixos, todos os estágios piezo motorizados.
- Faixa XY 100 x 100 mm 2 , faixa de inclinação de 70°.
- Carregamento via bloqueio de carga automatizado.
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Câmara | 379 mm de largura interna, 21 portas |
Opções de software | - Thermo Scientific Maps Software para aquisição automática de grandes áreas usando ladrilhos e costuras; trabalho correlativo
- Software Thermo Scientific AutoScript 4; uma interface de programação de aplicativo baseada em Python
- Software de geração de padrões
- TopoMaps para colorização de imagens, análise de imagens e reconstrução de superfícies 3D
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