Filmes Finos, Plasma e Engenharia de Superfície

Análise de gás residual (RGA), análise de íons de plasma, análise de superfície e detecção de ponto final por SIMS são essenciais para caracterização precisa em aplicações de filmes finos, plasma e engenharia de superfície.

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Analisador de Massa e Energia PSM

Analisador de Massa e Energia PSM

As sondas de plasma da Hiden medem alguns dos principais parâmetros do plasma e fornecem informações detalhadas sobre a química de reações no plasma.

Analisador de Gás Residual - Série HPR-30

Analisador de Gás Residual - Série HPR-30

A Série HPR-30 são sistemas de análise de gás residual configurados para análise de gases e vapores em processos a vácuo e para diagnósticos de vácuo, com capacidade de amostragem desde alto vácuo até pressão atmosférica.

Perguntas Frequentes

Como o Espectrômetro de Massa de Feixe Molecular HPR-60 contribui para análise de plasma atmosférico?
O HPR-60 é projetado para analisar neutros, radicais e íons em plasmas atmosféricos, permitindo estudos detalhados da química de reações em fase gasosa e intermediários reativos, essenciais para otimizar processos de filmes finos e engenharia de superfície.

Quais são as principais aplicações do Compact SIMS na engenharia de superfície?
O Compact SIMS é usado para análise de estruturas de camadas, identificação de contaminação de superfície e mapeamento de impurezas, com sensibilidade isotópica em toda a tabela periódica e resolução de profundidade em nanômetros.

O que diferencia o Sistema de Análise de Superfície XBS em aplicações de deposição molecular?
O XBS oferece alta sensibilidade, controle avançado da fonte de íons e resistência à contaminação, tornando-o ideal para monitoramento preciso de múltiplas fontes de feixe em deposição de filmes finos e revestimentos funcionais.

Como a Estação de Trabalho SIMS auxilia na caracterização de materiais em filmes finos?
A Estação de Trabalho SIMS proporciona análise dinâmica e estática de íons secundários, com alta sensibilidade para mapeamento de composição química e perfilagem de profundidade em materiais complexos como semicondutores e revestimentos ópticos.

Qual é a função do Canhão de Íons IG5C em análises SIMS?
O IG5C é projetado como uma fonte compacta de íons primários para análises SIMS dinâmicas, estáticas e de imagem, oferecendo alta precisão em aplicações que exigem controle de profundidade em nanômetros e detecção de traços.